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ÖNORM EN ISO 14644-10 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 10: Bewertung der chemischen Oberflächenreinheit (ISO 14644-10:2022)

Ausgabedatum	2022-10-15
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart	STANDARD
Norm-Nummer	ÖNORM EN ISO 14644-10
Norm-Titel, deutsch	Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 10: Bewertung der chemischen Oberflächenreinheit (ISO 14644-10:2022)
Vorgänger-Norm	ÖNORM EN ISO 14644-10 (2022 02 15) ÖNORM EN ISO 14644-10 (2013 06 15)
Norm-Titel, englisch	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)
Norm-Titel, französisch	Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 10: Évaluation de la propreté chimique des surfaces (ISO 14644-10:2022)
gültig ab	2022-10-15
internat. Übereinstimmung	ISO 14644-10:2022 (2022) , ident EN ISO 14644-10 (2022 05) , ident
Originalsprache	de en
Preisgruppe	Preisgruppe 20 - Preis incl. 10% Mehrwertsteuer, zuzüglich Versand- und Verpackungsspesen.
Kurzreferat	Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle fes
Seitenanzahl der Norm	40
Deutsche Fassung:

© Austrian Standards, 1020 Wien, Heinestraße 38
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