ÖNORM EN ISO 25178-603 - Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende Interferometrie) (ISO 25178-603:2025)
Ausgabedatum
2025-09-01
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart
STANDARD
Norm-Nummer
ÖNORM EN ISO 25178-603
Norm-Titel, deutsch
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende Interferometrie) (ISO 25178-603:2025)
Vorgänger-Norm
ÖNORM EN ISO 25178-603 (2023 11 15) ÖNORM EN ISO 25178-603 (2013 12 15)
Norm-Titel, englisch
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Design and characteristics of non-contact (phase shifting interferometry) instruments (ISO 25178-603:2025)
Norm-Titel, französisch
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface: Surfacique - Partie 603: Conception et caractéristiques des instruments sans contact (à interférométrie à glissement de franges) (ISO 25178-603:2025)
Dieses Dokument beschreibt die Konstruktionsmerkmale und die messtechnischen Merkmale von Geräten für die phasenschiebende Interferometrie (PSI) zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Daten der flächenhaften Oberflächentopografie extrahiert werden können, sind die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren auch auf Profilierungsmessungen anwendbar.