ÖNORM EN ISO 23216 - Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektrokopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021)
Ausgabedatum
2023-02-15
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart
STANDARD
Norm-Nummer
ÖNORM EN ISO 23216
Norm-Titel, deutsch
Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektrokopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021)
Vorgänger-Norm
ÖNORM EN ISO 23216 (2022 08 01)
Norm-Titel, englisch
Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry (ISO 23216:2021)
Norm-Titel, französisch
Films à base de carbone - Détermination des propriétés optiques des films de carbone amorphe par ellipsométrie spectroscopique (ISO 23216:2021)
gültig ab
2023-02-15
internat. Übereinstimmung
ISO 23216:2021 (2021) , ident EN ISO 23216 (2022 11) , ident
Dieses Dokument legt die spektroskopische Ellipsometrie für die Bestimmung der optischen Eigenschaften (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) und die optische Klassifizierung verschiedener Typen von amorphen Kohlenstoffschichten innerhalb der n-k