ÖNORM EN ISO 14644-9 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit (ISO 14644-9:2022)
Ausgabedatum
2022-11-01
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart
STANDARD
Norm-Nummer
ÖNORM EN ISO 14644-9
Norm-Titel, deutsch
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit (ISO 14644-9:2022)
Vorgänger-Norm
ÖNORM EN ISO 14644-9 (2022 02 01) ÖNORM EN ISO 14644-9 (2012 11 01)
Norm-Titel, englisch
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration (ISO 14644-9:2022)
Norm-Titel, französisch
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 9: Évaluation de la propreté des surfaces en fonction de la concentration de particules (ISO 14644-9:2022)
gültig ab
2022-11-01
internat. Übereinstimmung
ISO 14644-9:2022 (2022) , ident EN ISO 14644-9 (2022 05) , ident
Dieses Dokument beschreibt ein Verfahren für die Bewertung der partikulären Reinheitsgrade auf festen Oberflächen für Anwendungen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. Empfehlungen zu Prüf- und Messverfahren sowie Angaben zu Oberflächenkenngröß