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ÖNORM EN ISO 14644-17 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 17: Anwendungen zur Partikelabscheidungsrate (ISO 14644-17:2021)

Ausgabedatum	2021-07-01
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart	STANDARD
Norm-Nummer	ÖNORM EN ISO 14644-17
Norm-Titel, deutsch	Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 17: Anwendungen zur Partikelabscheidungsrate (ISO 14644-17:2021)
Vorgänger-Norm	ÖNORM EN ISO 14644-17 (2019 12 01)
Norm-Titel, englisch	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications (ISO 14644-17:2021)
Norm-Titel, französisch	Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 17: Applications de taux de dépôt de particules (ISO 14644-17:2021)
gültig ab	2021-07-01
internat. Übereinstimmung	ISO 14644-17 (2021) , ident EN ISO 14644-17 (2021 02) , ident
Originalsprache	de en
Preisgruppe	Preisgruppe 22 - Preis incl. 10% Mehrwertsteuer, zuzüglich Versand- und Verpackungsspesen.
Kurzreferat	Dieses Dokument enthält Anweisungen für die Auswertung und Anwendung der Messergebnisse der Partikelablagerungsrate auf einer oder mehreren empfindlichen Oberflächen in einem Reinraum im Rahmen eines Programms zur Kontaminationskontrolle. Es umfasst ferner Anleitungen, wie die Partikelablagerungs-rate beeinflusst und die Gefahr einer partikulären Kontamination auf empfindlichen Oberflächen verringert werden kann. Dieses Dokument beschreibt, wie Nutzer eines Reinraums mit Hilfe der Messungen der Partikelablagerungs-rate Grenzwerte festlegen können, die für Makropartikel auf empfindlichen Oberflächen gelten. Es umfasst ferner ein Verfahren zur Risikobewertung, mit dem ein annehmbares Risiko der Partikelablagerung auf empfindlichen Oberflächen in einem Reinraum ermittelt werden kann und, wenn dieses nicht erreicht wird, Verfahren, mit denen die Partikelablagerungsrate reduziert werden kann. Eine Alternative zur Partikelablagerungsrate ist die partikuläre Trübungsrate, mit der die Anstiegsrate der Partikela
Seitenanzahl der Norm	35
zitierte Normen	ISO 14644-3:2019
Deutsche Fassung:

© Austrian Standards, 1020 Wien, Heinestraße 38
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