ÖNORM EN ISO 14644-14 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft (ISO 14644-14:2016)
Ausgabedatum
2017-02-15
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart
STANDARD
Norm-Nummer
ÖNORM EN ISO 14644-14
Norm-Titel, deutsch
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft (ISO 14644-14:2016)
Vorgänger-Norm
ÖNORM EN ISO 14644-14 (2014 11 01)
Norm-Titel, englisch
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016)
Norm-Titel, französisch
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 14: Évaluation de l'aptitude à l'emploi des équipements par la détermination de la concentration de particules en suspension dans l'air (ISO 14644-14:2016)
gültig ab
2017-02-15
internat. Übereinstimmung
ISO 14644-14 (2016) , ident EN ISO 14644-14 (2016 10) , ident
Dieser Teil von ISO 14644 legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (z. B. Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten und Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen kontrollierten Bereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 fest. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644-1 angegeben). Die folgenden Aspekte sind nicht durch diesen Teil von ISO 14644 abgedeckt: - Bewertung der Tauglichkeit in Bezug auf die Biokontamination; - Prüfung zur Tauglichkeit von Dekontaminationsmitteln und -techniken; - Reinigungsfähigkeit der Geräte und Materialien; - Anforderungen an die konstruktive Auslegung von Geräten und die Auswahl von Materialien; - physikalische Materialeigenschaften (z. B. elektrostatische, thermische Eigenschaften); - Optimierung der Geräteleistung für spezifische Prozessanwendungen; - Auswahl und Anwendung statistischer Verfahren für die Prüfu