ÖNORM EN ISO 14644-2 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 2: Überwachung zum Nachweis der Reinraumleistung bezüglich Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO 14644-2:2015)
Ausgabedatum
2016-05-15
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart
STANDARD
Norm-Nummer
ÖNORM EN ISO 14644-2
Norm-Titel, deutsch
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 2: Überwachung zum Nachweis der Reinraumleistung bezüglich Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO 14644-2:2015)
Vorgänger-Norm
ÖNORM EN ISO 14644-2 (2014 11 01) ÖNORM EN ISO 14644-2 (2001 02 01)
Norm-Titel, englisch
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015)
Norm-Titel, französisch
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 2: Surveillance du maintien des performances de la salle propre pour la propreté particulaire de l'air (ISO 14644-2:2015)
gültig ab
2016-05-15
internat. Übereinstimmung
ISO 14644-2 (2015) , ident EN ISO 14644-2 (2015 12) , ident
Dieser Teil von ISO 14644 legt die Mindestanforderungen an einen Überwachungsplan für die Leistung eines Reinraums oder eines reinen Bereichs in Bezug auf die Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration auf der Grundlage von Parametern fest, die die Konzentration luftgetragener Partikel messen oder beeinflussen. Dieser Teil von ISO 14644 behandelt nicht die Zustandsüberwachung von Aspekten, wie z. B. Vibration oder die allgemeine Instandhaltung der Engineeringsysteme. Er ist nicht für die Überwachung von Partikelgruppen vorgesehen, die außerhalb des festgelegten unteren Schwellenwerts (Nachweisgrenze) der Partikelgröße im Bereich zwischen 0,1 µm und 5 µm liegen. Konzentrationen von ultrafeinen Partikeln (Partikel kleiner als 0,1 µm) werden in einem anderen Teil dieser Normenreihe behandelt.