ÖNORM EN ISO 14644-1 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO 14644-1:2015)
Ausgabedatum
2016-05-15
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart
STANDARD
Norm-Nummer
ÖNORM EN ISO 14644-1
Norm-Titel, deutsch
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO 14644-1:2015)
Vorgänger-Norm
ÖNORM EN ISO 14644-1 (2014 11 01) ÖNORM EN ISO 14644-1 (1999 08 01)
Norm-Titel, englisch
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-1:2015)
Norm-Titel, französisch
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 1: Classification de la propreté particulaire de l'air (ISO 14644-1:2015)
gültig ab
2016-05-15
internat. Übereinstimmung
ISO 14644-1 (2015) , ident EN ISO 14644-1 (2015 12) , ident
Dieser Teil der ISO 14644 enthält die Klassifizierung der Luftreinheit in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen sowie von SD-Modulen (en: separative device, SD) nach ISO 14644-7 anhand der Konzentration luftgetragener Partikel. Für Klassifizierungszwecke werden nur Partikelgruppen in Betracht gezogen, deren Summenhäufigkeitsverteilung auf dem Schwellenwert der Partikelgröße (untere (Nachweis-) Grenze) beruht, der von 0,1 µm bis 5 µm reicht. Die Anwendung von Streulicht-Einzelpartikelzählern (LSAPC, en. light scattering (discrete) airborne particle counter) ist die Grundlage für die Bestimmung der Konzentration luftgetragener Partikel gleich und größer dem festgelegten Größenbereich an gekennzeichneten Probenahmeorten. Dieser Teil der ISO 14644 trifft nicht auf die Klassifizierung von Partikelgruppen zu, die außerhalb des festgelegten unteren Schwellenwerts (Nachweisgrenze) der Partikelgröße im Bereich zwischen 0,1 µm und 5 µm liegen. Konzentrationen von ultrafeinen Partikeln (nanoskalige Partike