ÖNORM EN ISO 25178-603 - Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie) (ISO 25178-603:2013)
Ausgabedatum
2013-12-15
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart
STANDARD
Norm-Nummer
ÖNORM EN ISO 25178-603
Norm-Titel, deutsch
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie) (ISO 25178-603:2013)
Vorgänger-Norm
ÖNORM EN ISO 25178-603 (2011 10 01)
Norm-Titel, englisch
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments (ISO 25178-603:2013)
Norm-Titel, französisch
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface: Surfacique - Partie 603: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques à glissement de franges) (ISO 25178-603:2013)
gültig ab
2013-12-15
internat. Übereinstimmung
ISO 25178-603 (2013) , ident EN ISO 25178-603 (2013 10) , ident
Dieser Teil der ISO 25178 legt die messtechnischen Eigenschaften von Messgeräten der phasenschiebenden interferometrischen (PSI-) Mikroskopie zur Messung von Oberflächenprofilen und zur flächenhaften Messung der Oberflächenbeschaffenheit fest.