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ÖNORM EN ISO 14644-13 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienklassifikationen (ISO/FDIS 14644-13:2025)

Ausgabedatum	2025-11-15
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart	ENTWURF
Norm-Nummer	ÖNORM EN ISO 14644-13
Norm-Titel, deutsch	Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienklassifikationen (ISO/FDIS 14644-13:2025)
Einspruchsfrist-Ende	2025-12-25
Norm-Titel, englisch	Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration (ISO/FDIS 14644-13:2025)
Norm-Titel, französisch	Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 13: Nettoyage des surfaces afin d'obtenir des niveaux de propreté par rapport aux classifications particulaire et chimique (ISO/FDIS 14644-13:2025)
gültig ab	2025-11-15
Originalsprache	de en
Preisgruppe	Preisgruppe 27 - Preis incl. 10% Mehrwertsteuer, zuzüglich Versand- und Verpackungsspesen.
Kurzreferat	Dieses Dokument gibt Richtlinien zur Reinigung von Reinraumoberfla¨chen, Oberfla¨chen der Ausru¨stung in einem Reinraum und Oberfla¨chen von Materialien in einem Reinraum bis zu einem festgelegten Grad. Beru¨cksichtigt werden alle relevanten Oberfla¨chen (extern oder intern). Es gibt Anleitungen zur Bewertung von Reinigungsverfahren zum Erreichen der geforderten Stufen der partikula¨ren Oberfla¨chenreinheit (en: surface clean-liness by particle concentration, SCP) und der chemischen Oberfla¨chenreinheit (en: surface cleanliness by chemical concentration, SCC) und in Bezug darauf, welche Techniken zum Erreichen dieser festgelegten Grade beru¨cksichtigt werden sollten. Bei der Eignung von Reinigungstechniken wird auf die Reinheitsstufen und die damit verbundenen Pru¨fverfahren aus ISO 14644-9 und ISO 14644-10 verwiesen. Dieses Dokument gibt allgemeine Anleitungen zu Folgendem: ¿ die erwarteten Oberfla¨chenreinheitsgrade; ¿ die Eignung der Reinigungsverfahren; ¿ die Kompatibilita¨t von Oberfla¨chen mit der R
Seitenanzahl der Norm	45
Deutsche Fassung:

© Austrian Standards, 1020 Wien, Heinestraße 38
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