ÖNORM EN ISO 25178-603 - Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende Interferometrie) (ISO/DIS 25178-603:2023)
Ausgabedatum
2023-11-15
Norm-beschreibende Schlagwörter
Normenart
ENTWURF
Norm-Nummer
ÖNORM EN ISO 25178-603
Norm-Titel, deutsch
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende Interferometrie) (ISO/DIS 25178-603:2023)
Einspruchsfrist-Ende
2023-12-25
Norm-Titel, englisch
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Design and characteristics of non-contact (phase shifting interferometry) instruments (ISO/DIS 25178-603:2023)
Norm-Titel, französisch
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface: Surfacique - Partie 603: Conception et caractéristiques des instruments sans contact (à interférométrie à glissement de franges) (ISO/DIS 25178-603:2023)
Dieses Dokument beschreibt die Konstruktionsmerkmale und die messtechnischen Merkmale von Geräten für die phasenschiebende Interferometrie zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Daten der flächenhaften Oberflächentopografie extrahiert werden können, können die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren auch auf Profilierungsmessungen anwendet werden.